二手 KLA / TENCOR HRP 340 #9400332 待售
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KLA/TENCOR HRP 340是一種晶圓測試和計量設備，設計用於在制造過程中提供大直徑IC和MEMS晶圓的快速、準確的無損測試。該系統采用高功率的紫外線激光光源與先進的光學計量單元耦合，精確測量半導體晶圓上微結構的厚度、平面平坦度、邊緣直線度等物理特性。KLA HRP 340配備了先進的光學和探測器，使用戶能夠準確捕獲計量信息。該機由430萬像素激光幹涉儀組成；自動對焦/自動對準功能、稱為「二維輪廓測量」的高級光學測量技術以及自動參數計算工具。該資產專為測試和測量1英寸至8英寸的IC和MEMS晶片而設計,能夠在不到一分鐘的時間內完成所有必要的測量。TENCOR HRP 340提供了完整的缺陷檢測功能,能夠檢測各種類型的缺陷,如針孔和蝕刻損壞。該模型還具有高通量能力，允許同時測試和分析每小時多達200個晶圓。此外,設備的自動化和用戶友好界面使其易於設置和操作,並提供有關測量結果的實時反饋。此外，HRP 340還配備了先進的檢查、分析和報告功能。該系統能夠識別和測量無法檢測到的缺陷或其他非維特征,然後將測量結果存儲到板載內存中。此外,用戶還可以輕松地將測試結果與預定義的限制立即進行比較。可選的附加組件TDK Level 200可以提供深入分析和完整的計量報告,作為晶圓測試的一部分。總體而言，KLA/TENCOR HRP 340是一個功能強大且高度先進的晶圓測試和計量單元，旨在測量半導體晶圓上微結構的物理特性。KLA HRP 340具有高通量、快速準確、自動化設置和報告功能以及高級缺陷檢測功能,是尋求可靠且經濟高效的晶圓測試解決方案的半導體和MEMS制造商的理想解決方案。
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