二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9188177 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在快速分析各種設備和基板的物理特性。該系統基於最新一代的專有光譜成像和計量技術，允許對當今最先進的半導體晶片進行高通量、高精度、高性價比的檢驗和計量。KLA T830利用先進的光譜和成像能力，方便高速缺陷可探測性檢測、3D缺陷檢測、叠加測量以及多種光譜和成像算法。集成微觀成像單元，或稱MIS，提供14位輻射分辨率成像，並允許機器快速識別晶圓上的各種缺陷和粒子。該工具可以設置為同時對兩個晶片進行測量和缺陷檢查。ICOS T 830的計量模塊提供集成的非接觸式光學臨界維度（CD）計量,包括高級3D映射和自動對焦功能。該資產的專門納米級計量功能使TENCOR T830能夠精確測量小型目標,例如在設備節點上找到的目標,而無需額外準備或校準。該模型還可用於各種其他計量任務，如粗糙度、深度、高度、步長和3D輪廓測量。為了確保及時和準確的結果,計量模塊還配備了一個專有的AutoStage,它可以智能地驅動聚焦以快速獲得最準確的結果。T830被認為具有提高吞吐量和復雜性的幾個功能。其先進的光學設備可以快速獲取數據，對移動物體的自動跟蹤提高了可重復性。其智能軟件套件融合了對多種參數的算法控制，包括引入校正算法，以優化多個探針的使用，使吞吐量更大，返工更少。KLA/TENCOR/ICOS T 830能夠跟蹤每臺設備的多個晶片,大大提高了樣品吞吐量。KLA T830提供了速度、精度和可用性的強大組合,以確保最先進的晶片滿足晶片測試和計量需求。該系統是一個可靠的工具，有助於突破準確性和復雜性的界限，同時提供快速、經濟高效的結果。