二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9188785 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830是為半導體制造設計的晶圓測試和計量設備。該工具在完全集成的平臺中結合了測試、雙面掃描和在線尺寸計量。該系統利用光學和電氣晶片測試功能對各種設備類型進行測試，為用戶提供可靠和精確的結果。KLA T830利用封閉的單級真空掃描裝置一次處理兩個晶片。它允許用戶在晶圓尺寸之間快速轉換,從而提高吞吐量。該機還提供單面和短晶片檢測能力。除了其專用的雙面掃描功能外,ICOS T830還提供了一套全面的前後光學、電氣和尺寸測量。利用其專門的光學設計，T830可以用5倍還原光學工具獲得直徑達24英寸的晶片的高分辨率圖像。在這種尺寸下，即使是最小的特徵如凹坑或裂縫，也可以被高細節地看到。該資產還利用平面內成像對整個模具表面進行缺陷覆蓋,這有助於確保在測試和檢查大型基板時不會遺漏缺陷。TENCOR T830提供了多種電氣測試選項,包括四點接觸、非接觸式、開放短負載測試、電流測試以及各種其他電氣參數測量。它具有多種測量機制，可以與專門的設備隔離和應力檢測儀器相結合。利用其集成的尺寸計量，它可以測量模具尺寸、厚度和拓撲，以及不同晶片之間相同兩點的偏移。KLA/TENCOR/ICOS T830除了具有測試和測量功能外,還集成了數據管理和報告功能。該工具記錄的所有系統數據都存儲在一個安全數據庫中，授權人員可以訪問該數據庫。可以以各種格式生成和導出報告,從而允許用戶查看和分析結果。總體而言,KLA T830是一種先進的晶圓測試和計量模型,旨在提供可靠的結果,同時降低半導體制造的成本和復雜性。其先進的特性和功能使其成為業界的寶貴工具。