二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9218718 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830晶圓測試和計量設備是一種高精度、先進的自動化解決方案,設計用於半導體產量管理和表征過程開發。該系統配有高分辨率攝像頭、電動采樣臺和全自動基板處理單元。該機器能夠提供快速吞吐量、高精度測量以及結果的可重復性和可重復性的同時計量。它提供了通過獲取不同種類的物理特性快速、精確地測量晶片特征的能力。該工具配有高分辨率數字成像和增強的邏輯和控制系統，用於復雜工程結構的視頻速率成像，精度很高。它具有集成模式識別（PR）能力，協助操作員對SOI（絕緣體上的矽）和BCB（雙苯環丁烯）等復雜底物進行可靠分析。資產利用多種計量方法，如光譜成像、2D和3D光學成像、散射法和動態橢圓偏振法來測量不同的性質。它用於陣列表征、跨晶片模具表征、缺陷位點和隔離分析、晶片網格奇偶校驗測量和設備取向評估。隨著分析與計量能力的融合，該模型具有強大的設備級收益率保證能力。該系統配有PCB（印刷電路板）檢查和提供高保真成像的光學檢查和計量。它采用模塊化和可擴展性設計,提高了靈活性、準確性和吞吐量。其環保部件進一步提升了機組性能和穩定性，提供了成本效益。該機器與直觀、交互式的軟件平臺集成在一起，能夠實現統一、準確、自動化的報告和分析。其面向任務的編程允許快速設置過程和分析以實現特征識別。此工具還提供了各種工程和服務支持應用程序,使資產的實施更加容易。總之，KLA T830晶圓測試和計量模型是一種專門為半導體產量管理和工藝開發而設計的先進自動化解決方案。它配備了高分辨率相機、電動采樣臺和全自動基板處理設備，使其能夠提供具有快速吞吐量、高精度測量以及結果可重復性和可重復性的同時計量。此外,它還與直觀的交互式軟件平臺集成在一起,並提供各種工程和服務支持應用程序。