二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9376001 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830是一種革命性的晶圓測試和計量設備，旨在提高晶圓生產的整體效率和準確性。該系統利用正在申請專利的計量和測試技術提供準確和可靠的結果，以確保最高質量和統一性。該單元由幾個組成部分組成，所有這些組成部分共同努力，對任何給定晶片的狀況提供全面和精確的看法。這些組件包括一個示例級、定位器、運動控制模塊、各種傳感器以及一個允許實時分析和補救的復雜軟件包。KLA T830的樣本階段是所有測試和測量的主要平臺。它采用精確的運動控制技術，實現了精確、可重復的晶圓定位和光型掃描操作，並實現了自動定心和點相位。這允許在任何給定位置對數據進行一致采樣，以及區分個別缺陷的能力。舞臺配備了一系列光學傳感器，包括照相機、激光幹涉儀、光譜儀。這些傳感器可以實現高級成像功能,從而能夠對不同材料的特性進行詳細的可視化和表征。定位器是實現自動晶圓操作的工具。它由幾個電動機、控制器、編碼器和放大器組成，這些電動機、控制器、編碼器和放大器允許晶圓通過計算機編程的命令進行精確和可重復的移動。這消除了手動操作的需要,從而提高了樣品吞吐量,並能夠在較短的時間內檢查大量樣品。ICOS T830的運動控制模塊負責監控和執行定位器的運動。它們由特殊處理器、驅動邏輯和數字信號處理器組成。這些模塊能夠提供對晶片運動的精確控制，確保所有測量和測試都能準確、及時地進行。軟件包是機器的決策組件。它具有直觀的圖形用戶界面（GUI）和幾種功能強大的分析工具,可以對晶片上存在的任何缺陷進行實時分析和補救。這使用戶能夠就生產過程做出明智的決策,並在必要時快速調整和優化它們。此外,該軟件還可以與其他通用數據分析平臺無縫集成,從而實現不同系統之間自動交換結果和數據。綜上所述，TENCOR T830是一種革命性的晶圓測試和計量工具，可確保生產過程中的高精度和重復性。其精確的運動控制功能、復雜的成像功能和全面的軟件包使用戶能夠快速檢測和補救晶片上存在的任何缺陷。這提高了其產品的質量和統一性，同時提高了其運營的整體效率。