二手 KLA / TENCOR / INSPEX Eagle #293616824 待售

KLA / TENCOR / INSPEX Eagle
ID: 293616824
Patterned wafer inspection systems.
KLA/TENCOR/INSPEX Eagle是一款綜合性晶圓測試和計量設備,旨在測量半導體器件的電氣、物理和光學性能。KLA Eagle是一個模塊化和可擴展的平臺,能夠處理具有高級分析功能的晶片的2D和3D圖像。該系統包含一個內置的晶圓映射模塊,允許用戶快速準確地定位感興趣的特征。此外,TENCOR Eagle還擁有一個集成的檢測工具,可以檢測和分析微觀結構模式的不規則性,並檢測極端均勻性問題。Eagle采用了多種強大的成像技術,既提供光譜分析,又提供圖像的3D成像。它能夠對反射和透射光數據進行單波長成像、紫外線成像和雙波長成像,在一個包中提供最大性能。INSPEX Eagle結合了自動對焦和半自動晶片處理軟件和硬件,以確保精確完成測量,並具備動態極端接近聚焦(EPF)和驅動平臺的能力。這樣可以確保高級數據捕獲、靈活的映像和圖像分析功能。KLA/TENCOR/INSPEX Eagle還體現了最先進的光學設計,融合了成像和計量光學透鏡和濾鏡,允許在單個平臺上進行計量和成像而無需重新配置。此外,KLA Eagle被設計為高度可定制,允許用戶修改單位的各種功能設置,如現貨大小和自動對焦設置,以確定最準確的結果。此外,TENCOR Eagle還提供預測性維護分析和軟件控制的晶片裝卸。總體而言,Eagle是一款功能強大、用途廣泛的機器,適用於半導體行業內廣泛的成像、測試和計量應用。憑借其先進的光學設計、自動聚焦和晶片處理以及光譜成像和分析功能,INSPEX Eagle為要求最苛刻的應用程序提供了高度自動化和精確的測量。
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