二手 KLA / TENCOR M-GAGE 200/300 #293652075 待售

KLA M-GAGE 200/300是一種晶圓測試和計量設備，設計用於50納米以下工藝。它具有前沿、光學檢查平臺和創新的、經過矽驗證的垂直掃描技術。該系統配備了200或300毫米的自動裝載站以及先進的自動對準功能,可實現快速、高效的結果。該單元中使用的專有傳感器為用戶提供高分辨率數據捕獲功能。先進的光學器件和高靈敏度傳感器可確保最小缺陷檢測,而不會產生任何誤報結果。此外，多相關技術提供了一個無與倫比的視圖和量化評估晶圓的表面。M-GAGE可以識別隨機、線緣粗糙度和廣泛分散的粒子等最先進的缺陷。該機器具有高吞吐量，每小時最多可容納200個晶圓，並包括流行的Align-Check技術，以快速對齊測試對齊。此工具設計為模塊化,可根據客戶的需要提供可定制的配置。可以對晶片執行廣泛的測試和計量任務，包括工藝優化、焦平面檢測、故障分析和邊緣響應分析。集成的QualWafer軟件管理所有設備和資產參數，創建一個可以快速執行測試的簡單用戶界面。此外,該軟件還保持嚴格的審核跟蹤,以允許跟蹤和批量控制。功能強大的TENCOR M-GaGE 200/300型號是尋找可靠、精確、高效晶圓測試和計量結果的半導體制造商的理想選擇。M-GAGE設備具有用戶友好的設計、高性能的光學元件和先進的多相關技術,可提供卓越的數據完整性和工作效率。