二手 KLA / TENCOR M-GAGE 200/300 #293766227 待售

KLA M-GAGE 200/300是為半導體研究和生產應用而設計的先進計量和晶圓測試設備。該系統在單個集成平臺中提供完整的計量和晶圓測試功能。它結合了先進的光學計量學和先進的機械測試能力，在確定設備性能方面提供了最高的精度和準確性。該單元提供晶圓厚度、平整度和剖面數據的完整表征，以及步高測量、層和材料識別以及各種電氣參數。該機器利用先進的光學計量與機械測試能力相結合，允許精確測量和準確報告過程相關數據和設備數據。該工具采用獨特的兩級機電校準工藝,可確保精確的可重現測量結果和高精度的結果。兩階段校準可在所有測量中實現高速度和高精度,最大程度地減少產品可變性,並確保生產運行過程中的性能一致。資產還具有強大的數據處理模型,提供了一整套晶圓處理和計量功能。該設備可以集成Auto Fab、自動檢查和SEM圖像等數據源，允許對整個晶片進行全面分析。數據為生產或工程目的進行分析和存儲,可用於分析晶片的每個特征並制定糾正、預防或產品增強策略。該系統由WinTec、Clear Edge和LightSphere等一系列流行軟件平臺提供支持。這些程序提供了全面的晶圓和設備數據采集和處理功能，使研究人員和生產人員都能快速準確地分析和解釋晶圓數據。TENCOR M-GAGE 200/300是一種先進的計量和晶圓測試裝置，設計用於著名的半導體研究和生產應用。憑借其先進的光學計量能力、機械測試和穩健的數據處理，這臺機器為處理和檢查一系列計量和設備數據提供了最高的精度、準確性和一致性。該工具肯定是任何半導體或器件研究和生產設施的重要資產。