二手 KLA / TENCOR M-Gage 200 #293749861 待售

KLA / TENCOR M-Gage 200
ID: 293749861
AI Thickness measurement system.
KLA/TENCOR M-Gage 200(Model 200)是一種自動化的先進晶圓測試和計量設備,用於微處理器、平板顯示器和先進內存設備技術的加工和測量晶圓。200模型提供了一套全面的測試,旨在支持生產和產品資格要求。它可以測試多種晶片,包括矽和聚酰亞胺薄膜制成的晶片以及先進材料如氧化物、氮化物、介電和多晶矽。該系統還能夠對所有常用的平面化材料和程序進行自動化表面/薄膜評估,包括先進的化學機械平面化工藝。KLA M-Gage 200 Model提供完整的晶圓映射,並使用高清晰度的彩色圖形用戶接口顯示完整、實時的質量信息。該單元使用多向探測來精確覆蓋整個表面積,借助每張單獨的圖形圖可以查看和檢查晶圓表面,然後可以與制造商的規格和既定的「已知良好」圖形圖進行比較。此外,TENCOR M-Gage 200機器提供了先進的測量工具,如參數化分析、直接晶圓綁定和計量數據聚合(MDA),以隨著時間的推移識別、關聯和跟蹤過程關鍵材料/過程參數。此外,其強大的高清成像(HDI)和光度圖像處理能力使其成為晶圓表面高分辨率檢查和審查的理想選擇。該工具的數據得到安全存儲和保護,以保持持續的流程控制和流程相關信息的可追蹤性。這有助於確保產量和產品性能。該資產還具有高級編程功能,使工程師能夠自定義晶圓測試和關聯的分析、自定義表參數、定義配方以及編程新的測試操作以滿足更改的需求。總體而言,M-Gage 200 (Model 200)提供了一套全面的測試,旨在支持生產和產品資格要求。它與各種材料配合使用,提供準確的實時結果,具有強大的圖像處理功能,並且在維護過程控制和可追蹤性方面非常安全。KLA/TENCOR M-Gage 200模型有望成為技術進步不可或缺的工具。
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