二手 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293750339 待售

KLA / TENCOR M-Gage 300
ID: 293750339
晶圓大小: 6"
AI Thickness measurement systems, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一種高效的晶圓測試和計量設備。為用於半導體制造和研究而開發的KLA M-Gage 300提供快速、精確的晶圓測量,同時與其他工具和系統無縫運行。該系統圍繞直觀的圖形用戶界面(GUI)進行設計,該界面使用戶能夠以最少的輸入登錄並創建用於測試和計量的自定義程序。TENCOR M-Gage 300具有內置智能,使其能夠快速識別與測試晶圓屬性相關的模式。這使得該單元在產生可重復結果時非常可靠。PROMETRIX M-Gage 300利用先進的光度成像進行晶圓檢查和分析。利用先進的光照、圖像感測和基於軟件的方法相結合,該機能夠以極高的精度檢測晶圓上的變化等表面缺陷。它的設計還允許比以往任何時候都更快速、更準確地執行特定的測試,例如臨界尺寸、蝕刻深度和平坦度。該工具的光譜光學測量(SOM)功能允許捕獲晶圓的高度精確的圖像,允許更大的光譜測量陣列。開發者可以利用光譜數據創建晶圓的深度、顏色和材料圖,使他們能夠精確測量表面特性。這項技術使用戶能夠找到可能不會被發現的問題,並允許用戶在問題成為主要問題之前修復問題。資產還包括計量功能,使用戶能夠驗證晶圓的厚度和組成。該工具集為用戶提供了精確測量關鍵因素的能力,如單個金屬、金屬絕緣體、晶體管層和氧化物沈積物的覆蓋。M-Gage 300對這些區域提供了高度精確的檢查,允許用戶確保最高級別的均勻性。KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是晶圓測試和計量的強大可靠工具;為用戶提供準確測量晶片關鍵特性的能力。其強大的設計使用戶能夠快速識別圖案和表面缺陷。光譜光學測量(SOM)和計量能力使用戶能夠以極高的精度精確測量表面特性和其他關鍵因素。使用KLA M-Gage 300,用戶可以確保他們的晶片能夠以最短的時間和精力投入生產。
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