二手 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293830692 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一種先進的晶圓測試和計量設備,具有先進技術的優勢。該系統結合了兩種最佳成像技術和高通量計量學的優勢--光學和散射掃描技術的結合。光學成像技術允許以高達3000倍的變焦水平對晶圓進行高分辨率成像。該單元還將光學散射技術與高通量計量技術相結合,提供完整的晶片圖像,其中包括太小而無法通過傳統光學檢查檢測到的特征,從而能夠對故障源進行詳細分析,並有助於加快過程恢復時間。KLA M-Gage 300中使用的散射技術只允許0.5微米的缺陷覆蓋率。這種晶圓測試和計量方法還提供了每小時10k晶圓的高吞吐量，與其他系統相比顯著縮短了周期時間。TENCOR M-Gage 300的陣列技術也允許多種類型的檢查和表征。通過高分辨率成像和散射技術的結合，該機可用於表層缺陷的檢測、薄膜厚度的測量以及電氣測試和表征。其他應用包括：缺陷和泄漏位置、門氧化物評估、門存在和電接觸評估，以及局部和全局晶片表面分析。M-Gage 300的先進技術通過其光學技術進一步證明，它結合了一系列非球面和遠心鏡頭以及20X的微距聚焦鏡頭，提供了優越的圖像捕捉能力。照明工具采用Gen6佳能光源與掃描檢流鏡提供均勻照明和低溫。該資產還配備了AccuScale,它在3000X放大倍數的情況下提供0.2微米的重復性,以及具有次像素精度的數據。PROMETRIX M-Gage 300的功能提供了高分辨率成像、高通量計量和各種測試選項,使其成為高效晶圓測試和計量的強大工具。