二手 KLA / TENCOR M-Gage 300 #9158625 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一個集成的晶圓測試和計量系統,旨在為3 X納米節點及以上的超小型幾何產生高度精確的測量結果。KLA M-Gage 300結合了先進的工藝就緒計量工具，如APS（自動陣列結構）CD、OPC（光學接近校正）CD和缺陷檢測（Defect Inspection，DFI）功能。它提供了10 nm以下的光學分辨率,與用於較大幾何形狀的傳統計量工具相比,它減輕了測量的挑戰。TENCOR M-Gage 300采用先進的采樣級技術構建,可實現高通量測量的絕對精度和可重復性。采樣階段在計量和晶圓生產之間創建一個無縫的過程窗口，允許最大吞吐量，同時不犧牲精度。結果是周期時間更短，產量更高，產量提高。M-Gage 300集成了工藝就緒的計量工具，以跟蹤和測量多層和關鍵的晶圓特征，如圖樣、焊料凸點以及柱子和螺柱。它還具有全層缺陷檢測功能,使用各種檢測算法為每一層提供全面的審核。使用OPC CD, PROMETRIX M-Gage 300可以捕獲和分析其他可能降低產量的問題。KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300的其他功能包括高級邊緣ckt功能,這些功能可以快速準確地測量非常小的功能。它還支持具有均勻性和徑向掃描功能的多個測量位置,以提高吞吐量和準確性。該系統支持掩模範圍測量，在多個矽晶片尺寸上準確、可重復、可重復。直觀的用戶界面提供了簡單易用的教程、腳本和報告。利用日誌文件和板載跟蹤功能啟用了完整的可追蹤性。最後,KLA M-Gage 300被設計為模塊化和可升級,以便在其多年生命周期的未來發展過程中升級和增強其功能。