二手 KLA / TENCOR M-Gauge 200 #200432 待售

KLA/TENCOR M-Gauge 200是一種高端晶圓測試和計量設備，設計用於精確、可重復測量晶圓。KLA M-Gauge 200結合了最佳的KLA系統和最新的計量技術，以確保最高的準確性和可重復性。該系統包括一個200毫米、3000萬像素、視頻檢查頭和一個能夠測量200納米特征的多傳感器計量裝置。該機器能夠以每小時80個晶片的速度測量晶片,並配備冗余功能,確保精確測量並防止數據丟失。該工具采用雙光束激光幹涉儀實現快速、準確、無失真的3D測量，並采用計算機化調諧資產，允許幹涉儀動態調節。這使用戶能夠快速調整光路以獲得最佳精度。該模型還具有精確對準設備,以確保晶片始終正確地位於檢測場的中心,並且測量不會因晶片或系統組件的任何未對準而失真。TENCOR M-Gauge 200具有高動態測距儀,可實現從大功能到小功能的精確測量,並能夠測量200納米大小的功能。該單元還包括acousto-optic光束轉向，即使在最高掃描速度下也能以超高精度掃描整個視野。這樣可以確保機器能夠精確測量最復雜的形狀和特征，包括高密度晶圓。M-Gage 200是為了準確性和可靠性而打造的，並配備了多種內部冗余特性，以避免資料丟失。該工具還具有流程控制功能，使用戶能夠驗證其測量的準確性，並使資產性能監測過程自動化。KLA/TENCOR M-Gauge 200是要求苛刻的晶圓測試和計量應用的理想選擇。它的高級功能和高精度測量確保了準確性和可重復性,而其過程控制功能允許用戶優化和自動化其測試和計量程序。