二手 KLA / TENCOR Omnimap RS75 / TC #9159115 待售

KLA/TENCOR Omnimap RS75/TC是一種晶圓測試和計量設備，設計用於分析納米級的半導體晶圓，為工藝開發、工藝優化和缺陷發現提供高精度的結果。RS75/TC系統能夠收集和提供超高精度、高速和多面成像。它使用高級光學和高精度級創建具有自動聚焦的圖像,然後使用CMOS檢測器捕獲這些圖像。這允許精確測量表面輪廓、缺陷、粒子計數以及晶圓的各種其他特性。該單元具有高速級功能,可在成像區域中快速移動樣品,從而實現高吞吐量和逼真的測量。它還具有直觀的觸摸屏界面，方便用戶快速設置正確的測量參數。機器也是高度自動化的，使得它易於使用和提供快速的結果。而且，RS75/TC工具配備了超高靈敏度計量檢測器（UHSM），可以檢測樣品的膜厚度、成分和其他物理性質的變化。該檢測器還提供了一系列強大的分析工具來促進過程優化。此外，該資產還附有獨家成像軟件套件KLA Automap，旨在快速評估樣品表面輪廓。具有測量坡度、粗糙度和截面的能力，可用於確定工藝條件。此軟件的其他功能包括模板設計和用戶修改支持,以實現更精確的測量。最後,KLA Omnimap RS75/TC設計用於各種應用,如映射微尺度形態、表面缺陷、弱點識別、缺陷表征等。該設備非常適合過程開發、過程優化和缺陷發現,可提供高精度、高速和高通量的測量。