二手 KLA / TENCOR OP3290 #9142578 待售

KLA/TENCOR OP3290是一種晶圓測試和計量設備，用於檢查半導體晶圓上的電路結構，以了解器件產量和工藝、產品和器件性能。它常用於微電子和光子學行業，以幫助提高制造速度和提高成品質量。KLA OP3290提供可靠、可重復的測量，如臨界尺寸（CD）、氧化、摻雜、蝕刻深度和缺陷計數。TENCOR OP 3290是由高分辨率光學顯微鏡、高分辨率CCD相機和高速光譜儀組成的自動化晶圓測試系統。光學顯微鏡使用戶能夠檢查晶圓上的電路結構。CCD相機提供了一個強大的工具，用於捕捉電路結構的高分辨率圖像，以及產生對關鍵尺寸（CD）和電路其他特征的詳細分析和定量。該光譜儀用於測量電路結構中存在的不同材料的組成和濃度。TENCOR OP3290能夠測量、分析和評價晶片的厚度、表面平面度、CD、摻雜濃度、氧化水平、蝕刻深度以及晶片結構的其他方面。它擁有多種自動化晶圓測試和計量工具，包括LaserMetrology、Auto-tracking和Stage Scan。LaserMetrology模塊用於測量晶圓上探針膜的厚度、表面特征的平整度以及電路層的厚度。自動跟蹤模塊可以快速準確地測量臨界尺寸（CD）和橫向偏移。Stage Scan模塊允許自動映射和成像整個晶圓表面。KLA OP 3290是一個高級單元,具有可定制的用戶界面和各種軟件工具,用於顯示數據、執行計算和生成報告。它還包括用於缺陷分析和表征的缺陷分類和參數庫。該機被設計為可與多種半導體材料配合使用，包括矽、砷化氙、磷化氙和矽上絕緣體（SOI）。KLA/TENCOR OP 3290工具是生產最優質產品的重要工具。它的高分辨率光學器件、自動化晶片測試工具和強大的缺陷分析軟件使它成為現代半導體制造工藝的寶貴補充。