二手 KLA / TENCOR Optiprobe 3260 #9269305 待售

KLA / TENCOR Optiprobe 3260
ID: 9269305
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR Optiprobe 3260是一種先進的晶圓測試和計量設備,專為先進的質量和過程控制而設計。KLA Optiprobe 3260支持一系列晶圓參數,如表面地形、微缺陷以及自動缺陷分類。TENCOR Optiprobe 3260利用掃描探針顯微鏡測量晶片表面拓撲。該系統包括一個可檢測直徑小於5 μ m的粒子的快門傳感器。通過光學顯微鏡,設備能夠檢測晶片中的微小缺陷或損壞。該機還包括用於高分辨率圖像掃描和分析的高級光學器件。Optiprobe 3260包括一個優越的探測工具,使用高精度的檢查來檢查廣泛的模式。資產還具有專有的數字缺陷分類(DDC)算法,可根據其大小和形狀自動對任何已識別的缺陷進行分類,並允許高級流程控制。此外,KLA/TENCOR Optiprobe 3260有一個專有的叠加模型,精確測量晶圓的叠加精度。KLA Optiprobe 3260包括先進的模式識別和缺陷還原技術,以大大減少誤報並縮短測試周期時間。該設備還具有自動化測試軟件,使制造商能夠快速編程和運行測試以獲得最佳結果。對於高通量生產,TENCOR Optiprobe 3260具有快速切換傳感器,使制造商即使在高通量條件下也能保持質量和吞吐量。此外,該系統還具有先進的數據分析和報告能力,可以在測試周期中精確比較晶圓,進一步實現自動化過程控制。Optiprobe 3260的數據分析和報告功能包括索引和比較晶圓的能力,以及確定產量和工藝效率指標的能力。該單元還提供針對客戶特定需求量身定制的自定義報告。KLA/TENCOR Optiprobe 3260符合晶圓測試和計量的最高標準。高級硬件、專有算法和可靠的數據分析/報告功能的獨特組合確保了制造商接受一流的性能測試和優化。
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