二手 KLA / TENCOR P-6 #293592892 待售

KLA/TENCOR P-6是為高端半導體生產應用而設計的下一代晶圓測試和計量系統。該設備結合了晶圓測試和測量的最新技術-提供高精度和高分辨率結果以及短周期時間。該系統能夠探測、測試、測量和分析許多不同的半導體材料和器件，包括Flash、NOR和NAND存儲器、邏輯和射頻集成電路（RFIC）。它具有幾個硬件組件,包括配置控制、基於CCD、高分辨率2D光學顯微鏡和自動XY級。顯微鏡包括一個Colibri 3200 F2 CCD探測器和高質量的目標，提供了一個符合人體工程學和用戶友好的環境，以快速檢查和分析各種材料和設備。該單元還帶有一個自動圖像識別算法庫，可以幫助識別不同的缺陷。對於晶圓測試，該機配備了最先進的參數測試工具和全十針接觸器。測試資產可以以毫秒為單位執行高帶寬測量。高速模式編程工具和集成的自動聚焦、調平和產品分類工具提供了由機器人控制的晶圓測試。該模型還包括一個集成的厚通電薄膜條帶工具，用於深入分析感興趣區域的薄膜厚度。這允許實時的串聯膜厚度測量,以確保獲得最佳結果。KLA P-6設備還配有一個可容納多達5個模塊的炮塔和一個校準裝置，以確保準確和可重復的測試結果。光電電纜控制系統允許在不同的光電、CMP和接觸器配置之間自動切換,從而縮短了循環時間。TENCOR P6提供了業界最先進的晶圓測試和計量系統之一。其靈活的設計、高精度以及組合的測試和計量能力使其成為高端半導體制造應用的理想選擇。