二手 KLA / TENCOR P-7 #293665117 待售
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ID: 293665117
優質的: 2022
Film thickness measurement systems
Auto theta stage
3D+2D/3D Stress analysis
2022 vintage.
KLA/TENCOR P-7是為制造半導體元件而開發的晶圓測試和計量設備。它對晶片進行了精確的分析,以優化工藝控制和產量。KLA P-7結合高分辨率成像和強大的計量能力,用於晶圓測量和缺陷檢查。該系統采用模塊化設計,允許靈活配置,允許用戶構建最適合其規格和需求的單元。其電機和控制器在運動控制方面提供了更高的精度,提高了測量的可重復性。該軟件還支持自動晶圓級測試以檢測早期流程問題。TENCOR P 7還提供了改進的成像能力,包括各種CCD探測器如sCMOS和TDI,以及一系列照明選項,包括暗場、亮場、差分幹涉對比度(DIC)和Nomarski。這些選項可以結合起來,在檢測微妙的光學現象方面提供更高的精度。為了精確測量晶片上的圖樣,P-7還具有高性能的高分辨率計量能力,能夠測量低至5nm的關鍵特征。這樣可以準確測量陣列間距、關鍵尺寸和其他功能,以確保設備性能和可靠性。P 7還提供了專門的傳感器、範圍、光譜和專門的計量模塊的組合,為晶圓測量和缺陷檢查提供了最全面的一套工具。這種技術組合為用戶提供了精確晶圓測試和分析的完整解決方案。總體而言,KLA P 7提供了功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量機器,旨在優化半導體器件的過程控制、產量和性能。它結合了成像、計量以及專門的傳感器和瞄準鏡,為用戶提供了一個易於配置的工具,可以精確地測量和檢查晶圓。
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