二手 KLA / TENCOR P1 #293643497 待售

KLA/TENCOR P1是一種下一代的自動化晶圓測試和計量設備。它將工程精度和測量精度與直觀的圖形用戶界面和自動化過程相結合,以滿足當今大批量生產的需求。KLA P-1系統能夠處理最大12英寸大小的全晶片,支持單晶片和批處理模式操作。TENCOR P 1單元最多使用三套計量頭模塊，每個模塊都有自己的集成硬件組件，組成一個單一的進程單元。每個模塊都包含先進的光學和精確運動控制系統，以確保最高精度和可重復性。該機還配備了激光自動對焦，方便了測量平面與晶圓平面的簡單、精確設置和快速對準。晶圓測試和計量過程從在特定配方中加載晶圓開始。諸如曝光水平、目標焦點、測量平面和測量點等參數由操作員選擇。光學測量和檢查晶片的厚度、幾何形狀、缺陷、覆蓋、焦點和地形。該過程的結果以小於一微米的精度傳遞給用戶。為確保精確測量,KLA/TENCOR P1工具采用KLA專有的True Angle技術。該技術通過確保測量平面始終垂直於晶圓平面，降低了測量誤差，提高了結果的一致性。該資產還具有直觀的圖形用戶界面來指導操作員和簡化日常功能。P1還提供一系列全面的控制和數據采集功能。其集成機器智能（MI）平臺以集成的監控功能監控晶圓測試操作。MI平臺還可幫助操作員實時排除流程任何階段的任何問題。總體而言，TENCOR P1是一個強大、直觀、高效的晶圓測試和計量模型。設備提供準確、一致的測量結果,並將其快速傳輸給用戶。它結合了系統、技術和功能,使其成為成本敏感型和批量生產設施的理想選擇。