二手 KLA / TENCOR P1 #9283641 待售

ID: 9283641
Surface profiler.
KLA/TENCOR P1是一種晶圓測試和計量設備,專為滿足現代微電子工廠的需求而設計。該系統為各種半導體晶圓技術提供了可靠、精確的計量結果。它采用先進的照明和探測器技術,能夠在晶圓級實現快速、準確和可重復的結果。該單元結合了光學顯微鏡成像和測量晶片,以及象限檢測器,以提供高精度和細節的晶片級數據。KLA/TECNOR KLA P-1利用幹涉測量、衍射、光學輪廓分析、圖像處理和多式聯運掃描等多種檢查技術進行真正全面的測量和分析。該機具有510 nm波長激光束和可變角度窗口的可調照明功能,可提供精確的照明和消除陰影。Advanced 3-D PreSight Technology補償了圖案照明過程中的不均勻性,確保了結果的準確性和可重復性。TENCOR P1還采用了一種獨一無二的光學計量工具,可以測量晶圓厚度、表面粗糙度、步高和平坦度。TENCOR/TECNOR TENCOR P1預配置的資產可測量超過5個不同的晶圓地形和厚度值,從而最大限度地減少了晶圓級測量的設置時間。此外,KLA P1還具有雙視圖技術,能夠在x和y方向同時進行晶圓圖像采集和測量。這是由模型的特殊拆分孔徑機構啟用的,它提供了高水平的場分辨率。KLA/TENCOR P1為晶圓級測試和計量提供了全面、統一的解決方案。其獨特的成像和計量學技術可實現準確和可重復的結果,而其可調節的照明和雙視圖功能為這種強大而有效的測試設備提供了額外的優勢。
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