二手 KLA / TENCOR P1 #9386653 待售
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KLA/TENCOR P1是來自KLA Corporation的晶圓測試和計量設備,旨在為各種晶圓和基材提供先進的精度測量和缺陷檢測。它利用光學顯微鏡和高分辨率成像技術進行高精度亞微米測量。該系統能夠支持2-7.5英寸(50.8毫米-190.5毫米)的晶圓尺寸,厚度在0.5至9.5毫米之間。該單元設計用於利用明場和暗場顯微鏡圖像檢測和測量晶片上缺陷的尺寸。這使得它能夠檢測到甚至極小的缺陷,如顆粒、劃痕、凹坑和沈積材料。它還配備了高分辨率成像能力,可以對晶片進行深潛分析。這一特性提高了機器發現和表征原型和低產缺陷的能力。該工具還配有晶片保持機構,設計用於測量時保護晶片。它配備了數字傾斜級,允許對晶圓及其缺陷進行精確的角度和精確的測量。該資產還提供模式識別和自動化宏等自動化功能,允許用戶在短時間內快速準確地測量大量晶圓。科索沃解放軍P-1與大量采購軟件相結合,以進一步分析和分析從測量中收集的數據。此分析軟件提供了復雜的功能,如3 D曲面表征、2D圖像的映射和掃描、缺陷分析傾斜以及缺陷密度和尺寸調整等。數據也可以導出,以便在其他系統中共享和進一步分析。該模型能夠減少分析大量晶圓樣品所需的總成本和時間。設備還配備了直觀的用戶界面,便於操作和導航。這使得有經驗的用戶和那些新的晶圓測試和分析操作系統變得容易。該單位還遵守安全標準和協議,確保在規定的安全限度內進行測量。總體而言,TENCOR P1是一種高度精確且功能豐富的機器,用於記錄、映射和測量基板和晶片上的缺陷和其他表面特性。它設計用於高精度測量和缺陷檢測,使用戶能夠準確高效地分析大量數據。
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