二手 KLA / TENCOR P10 #293643963 待售

KLA/TENCOR P 10是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體計量和光刻。它采用專有的「多波長密集波分復用（MW-DWDM）」技術進行光學計量和缺陷聯合檢測，從而能夠快速準確地分析半導體光刻和計量特征。KLA P-10的核心組件是其二維（2D）自適應掃描能力、高靈敏度光學系統和先進的分析工具。該設備的2D自適應掃描與MW-DWDM技術相結合，實現了缺陷點的快速準確的定點和晶圓映射。高靈敏度探測器可以減少執行測量所需的光量,而機器的高級分析工具和自動化控制軟件可以快速識別、評估和定位樣品中的缺陷。TENCOR P 10還采用了專有的極化成像工具來更準確地檢測新的對峙異常和缺陷。該資產利用四個光學透鏡和高分辨率互補掃描來識別微妙的計量和光刻缺陷。偏振成像模型提供了更好的晶圓覆蓋範圍，有助於減少光學串擾。P 10的自動缺陷檢測功能與KLA/TERNOC的「MetCam」設備集成在一起,這有助於在一次掃描中檢測、分類和分離多層缺陷。MetCam的獨特算法可以準確檢測和分類缺陷和特征，降低昂貴的誤報率。KLA P 10還具有先進的光學計量系統，結合了自動聚焦和自動映射功能，用於精確測量和快速晶圓映射。該設備高效的樣品處理和光學機器使得能夠在幾分鐘內處理多個晶片，從而實現高效、經濟的數據采集和分析。KLA/TENCOR P-10可適應多種示例格式,非常適合在一系列應用程序中使用。它的模塊化、開放式體系結構允許將其放大或縮小以滿足特定應用程序的需求。KLA P 10的設計具有成本效益，其堅固的構造使其可靠耐用。總之，P-10是一種高性能晶圓測試和計量工具，能夠快速準確地分析半導體光刻和計量特征。它提供了先進的功能,包括可靠的缺陷檢測、高效的樣本處理、高分辨率的光學計量以及用於快速數據采集和分析的自動化控制軟件。該資產模塊化、適應性強、成本低，對任何半導體計量和光刻應用都具有重要價值。