二手 KLA / TENCOR P10 #293662984 待售
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KLA/TENCOR P 10是一種晶圓測試和計量設備,設計用於快速準確地測量和檢查半導體晶圓和其他基板。它與先進的光學、硬件和軟件集成在一起,可在廣泛的晶圓和基板上實現自動化、非接觸式計量、檢查和缺陷定位。該系統能夠實現高度精確的測量,可配置用於各種測試應用,如測量薄膜厚度、表面地形、粒徑和組成。KLA P-10利用先進的光學器件來捕獲晶圓或基板的圖像。它采用雙目成像單元,配有三個激光器和三個紅外照相機,以獲取晶圓或基板的精確3維圖像。然後,機器可以快速評估和提取圖像中的各種測量值,例如高度、寬度、深度、表面輪廓和薄膜厚度。其他功能包括缺陷檢測、線寬測量、叠加測量和平面空間檢查(FSI)。TENCOR P 10具有嵌入式觸摸屏界面,為編程和控制工具提供了易於使用的界面。觸摸屏還允許用戶快速訪問測試報告和結果。資產還具有可選的自動晶片處理模型,使用戶能夠在不同的基板之間快速切換,而無需手動重新對齊光學器件。TENCOR P 10高度可配置,支持多種功率、速度和分辨率設置,以滿足廣泛的測試和計量需求。該設備還具有先進的模式識別功能,可提供有關難以捕獲的特征(如亞微米特征、汙染物和其他細微缺陷)的詳細反饋。總之,P 10是一種先進的晶片測試和計量系統,旨在快速準確地測量和檢驗半導體晶片和其他基板。它配備了先進的光學器件,以及用於自動化、非接觸式計量、檢查和缺陷本地化的軟件。該設備高度可配置,支持各種功率、速度和分辨率設置,以滿足廣泛的測試和計量需求。
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