二手 KLA / TENCOR P10 #293751600 待售

KLA/TENCOR P 10是一種多功能晶片測試和計量設備，旨在以經濟高效的方式提高半導體晶片的質量、性能和可靠性。該系統提供了廣泛的高級工具表征功能,用於檢查和測量300 mm晶圓。該單元提供了四種工具配置的選擇，並配備了先進的高速光學檢測算法、自動可調諧波譜橢圓偏振、2D和3D缺陷成像、智能模式識別和過程控制。該機器還提供自動化和高精度的3D曲面測量功能,用於精確的曲面表征。KLA P-10具有密封晶片室,可實現最高溫度控制和均勻性.加氫的00級和100級層流配置保證了高通量晶圓測試和計量性能。支持廣泛的物理和化學測試能力，包括光致發光、二次電子成像、光發射光譜（OES）、X射線光電光譜（XPS）和掃描電子顯微鏡（SEM）。該工具具有智能雙面測量功能,能夠從兩側同時進行樣品測試。它還支持自動化的樣品準備和處理，允許高效和無錯誤的樣品調節。該資產包括用於自動測試程序執行的庫接口和用於進一步分析的結果獲取。該模型還提供了獨特的Alibi模式，能夠在不影響設備性能的情況下同時進行計量和測試。TENCOR P 10的強大功能和可選附件使其適合各種自動化測試過程。它還可以輕松地與其他現有工具和生產線集成,從而實現更高效、更集成的制造過程。