二手 KLA / TENCOR P10 #293755051 待售

ID: 293755051
Measurement systems.
KLA/TENCOR P 10是為半導體制造和分析而設計的晶圓測試和計量設備。它能夠對高級工藝進行生產測試和在線計量分析。KLA P-10使用兩臺高速晶圓映射相機從晶圓表面捕獲幾何信息。然後分析這些數據並將其存儲在高效的數據庫中,從而可以從單個晶圓中獲取復雜的測量值。用於生產測試,TENCOR P 10可用於檢測和分類晶圓缺陷。該系統能夠檢測到微裂紋、凹坑和短線等小缺陷。它還可以測量晶圓的表面粗糙度、線寬、臨界尺寸和地形。然後使用這些測量來優化工藝參數並確保產品質量。對於在線計量分析,P 10可以測量晶片的厚度、均勻性和電阻率。它還可以測量各個層的深度,以及層的組成。這允許用戶分析設備的晶片配置文件,並可視化特定過程對最終產品的影響。TENCOR P-10單元還提供了多種自動化功能,簡化了操作員的工作。這些包括自動對齊、自動配置文件生成、自動對焦和自動晶圓映射。機器也是高度可定制的,允許操作員配置硬件和軟件,以最適合他們的過程。總之,TENCOR P 10是一種強大的晶圓測試和計量工具,能夠同時進行生產測試和在線計量分析。其先進的功能使其非常適合高端半導體制造和分析應用。它的自動化功能、可配置的硬件和軟件,以及易於操作,使其非常適合希望提高流程質量和產量的用戶。
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