二手 KLA / TENCOR P10 #293806945 待售

KLA/TENCOR P 10是一種晶圓測試和計量設備,專為過程控制、故障分析和前端過程集成等多種應用而設計。該系統使用了一種專有的光學技術，稱為輪廓光束傳遞，以精確和快速地成像晶圓表面到納米級。它可以精確檢測顆粒、缺陷和線寬。該單元的成像技術從20倍顯微鏡物鏡開始，使用電動級掃描晶圓表面，而激光束梯度移動以匹配樣品輪廓。這樣可以確保觀察到的是真實表面的近似表示,而不是僅限於平坦表面的典型光學系統。輪廓波束傳輸還提高了信噪比,提高了精度和吞吐量.但是,機器可以收集的數據多於過程控制所需的數據,從而在需要時提供靈活的評估功能和高級故障分析。KLA P-10提供了超過大多數光學系統的高分辨率,擁有1倍景深的0.1nm層厚度成像和1倍景深的0.02 nm特征成像。它還具有市場上最好的成像速度之一,能夠在不到18秒的時間內掃描多達800 x 400 mm的同步視場。除了光學之外，TENCOR P 10還包括幾個復雜的光學分析、過程控制分析、晶圓級統計和故障分析模塊，使工具用戶能夠快速準確地評估晶圓。該資產的多光束技術提供了對2D和3D表示中每個晶片缺陷的指尖訪問,使其成為市場上最可靠、功能最強大的系統之一。KLA P 10還內置了許多其他技術,包括自動非接觸尺寸測量、自動地形測量以及自動/分析深孔和基準檢測。這些功能加上出色的成像功能,使TENCOR P-10成為各種晶圓測試和計量應用的理想解決方案。