二手 KLA / TENCOR P10 #293807273 待售

KLA/TENCOR P 10是一種晶圓測試和計量設備，設計用於在制造過程中提供對半導體晶圓關鍵工藝參數的高性能和精確測量。它利用先進的激光、反射計和散射計量技術，在每一個單獨的處理步驟收集極精確的數據。該數據用於提高晶圓產量和產量以及工藝控制.KLA P-10系統由主室、光表、晶片處理單元、激光源子系統、晶片采樣/測量子系統和數據轉換子系統等主要子系統組成。主室容納了光學臺和晶片處理機，並針對低溫低振動操作進行了優化。光學臺由光學平坦的超低質量花崗巖構成，包含晶圓采樣/測量光學器件，如激光源子系統和遙感工具。激光源子系統由激光、反射計和各種檢測光學器件組成。它旨在從晶片上的激光源收集精確的數據。晶圓處理資產是一種12軸電動模型，帶有光纖耦合器，提供所有6個方向和3個角度的運動。晶片采樣/測量子系統包含晶片支架、樣品/測量室、光陣列和幾個可調構件。光陣列由一系列透鏡和光源組成，這些透鏡和光源是精確詳細的。數據轉換子系統將測量的數據轉換為結構化信息，可對其進行分析以進一步優化流程。TENCOR P 10設備的設計實現了高精度和重復性。它能夠分析從幾微米到幾百微米的各種晶圓深度，以及提供整個晶圓的均勻性測量。P-10系統中的高級算法還可以實現精確的晶圓參數映射。測量單元裝有0.2微米分辨率的成像機，用於探索口罩和系統。總體而言，KLA P 10晶片測試和計量工具旨在提供晶片加工參數的準確和高度精確的數據，從而實現更大的工藝控制和更高的晶片產量。憑借其先進的激光、反射計和散射計量技術，這一資產可以為半導體制造提供可靠、可追溯的記錄。