二手 KLA / TENCOR P10 #293813796 待售
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KLA/TENCOR P10晶片測試和計量設備是一種完全集成的晶片檢測和測量自動化解決方案,為客戶提供檢測和表征缺陷、繪制器件參數和分析晶片數據的能力。該系統結合了先進的成像技術、掃描電化學顯微鏡（SCEM）和電阻率測試,以及一整套自動化過程,能夠精確檢測、分析和報告缺陷。KLA P-10的核心是多光束速度散射（MVSC）成像技術。該單元使用激光高速掃描晶片表面，生成特征、缺陷和特征特征的高分辨率圖。MVSC機還檢測材料類型並進行電阻率測試以識別樣品成分。TENCOR P 10還配備了微光譜儀，它提供了定量測量和表征能量相關數據的能力。微光譜儀有助於檢查和成像極小的缺陷，以及表征反射率低的材料。除了成像之外,KLA/TENCOR P 10還配備了掃描電化學顯微鏡（SCEM）工具。該資產使用微米級電流探測晶圓的化學結構。通過將掃描電化學顯微鏡與MVSC成像相結合-TENCOR P 10能夠識別和表征電蝕刻痕跡、光致抗蝕劑殘留物和其他傳統成像系統通常無法檢測到的缺陷。KLA P 10還具有一套自動化流程,包括缺陷映射、產量分析和報告。這些自動化過程使得快速、精確地檢查和測量晶片成為可能，這對於時間是金錢的行業來說尤為重要。KLA/TENCOR P-10晶片測試和計量模型是一種革命性的晶片測試和計量自動化解決方案。它結合了先進的技術和自動化的過程,能夠檢測和表征即使是最小的缺陷-導致成本較低的缺陷和更高的產量。
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