二手 KLA / TENCOR P10 #9035604 待售

KLA/TENCOR P 10是一種高性能晶圓測試和計量設備，設計用於先進的前端半導體器件測試。它具有高度可靠的光學計量系統,能夠在200毫米大小的各種半導體晶片上進行極其精確的晶圓和像素電平測量。該單元擁有先進的視覺機器，可以檢測和分析小至幾納米的特征，具有測量晶圓級特征和電阻模式的能力。KLA P-10由幾個不同的組成部分組成,它們共同提供精確的計量測量。其光學計量功能由全場光學發動機提供動力，具有連續優化晶圓軌跡（COWT）工具，使得全場測量成為可能。該COWT資產旨在消除像差,從而確保對具有各種形狀和復雜程度的晶片進行精確測量。此外,TENCOR P 10還配有具有晶圓極值（WEL）模型的成像模塊,可精確測量臨界晶圓水平。KLA/TENCOR P 10還具有業界領先的照明設備,該設備由天然和人工源組成,旨在在整個晶圓表面提供一致的測量結果。該系統還包含一個低角度長間距（LALP）單元,可最大程度地減少現代晶片曲率造成的圖像失真,從而確保任意角度的精確測量。P-10設計用於測量各種參數,包括缺陷尺寸、形狀特征、薄膜厚度、電阻率等。它利用Optic Security Version （OSV）技術為測試結果的機密分析提供了一個安全的數據環境。OSV技術集成了加密、身份驗證和安全的聯網功能,可保護用戶數據免受潛在的外部幹擾。在機器性能方面，KLA/TENCOR P-10提供高速全場計量，讀取時間高達每小時40個晶圓，精度為+/-1nm，是晶圓高效可靠的測試計量工具。該資產具有非常精簡的用戶界面,可以方便地操作設備,並能夠存儲和查看易於導出的測試結果以進行進一步分析。