二手 KLA / TENCOR P10 #9197218 待售
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KLA/TENCOR P 10是一款面向半導體行業的先進、綜合性晶圓測試和計量設備。它是為多站點晶片檢查而設計的,在關鍵工藝層上提供了可重復和可靠的測量和尺寸確定。KLA P-10系統包含一整套檢查、特征描述和計量功能。該設備具有快速、精確的晶片級,可快速設置設備配置和精確測量。這與高度靈活的光學布局相結合,可以實現極其廣泛的應用。直觀的用戶界面簡化了機器的實現和使用,提供了更高的生產率和流程可重復性。該工具專為可擴展的實施和增長而設計。它能夠集成多達十個流程和計量工具以及十六個攝像頭,以提高資產效率。憑借其模塊化架構,它還允許為定制應用程序添加第三方硬件和軟件包。TENCOR P 10模型包括自動特征識別和分類功能,使其能夠檢測多個晶圓中的異常特征和與過程相關的特征。采用三維圖像處理技術,采用先進的新缺陷檢測算法,能夠無與倫比的精確測量晶圓表面垂直地形。從這種成像設備收集的數據可用於進一步的計量提取和分析。KLA P 10包括一個集成的缺陷圖特征,用於全面的缺陷檢測。系統從多個角度測量模式,以防止對特征進行錯誤分類,以及改進晶圓通過率/故障率。它還配備了用於尺寸數據提取和提高檢測速度的集成自動對焦單元。KLA/TENCOR P-10靈活的機器設計提供了與各種工廠自動化選項的兼容性。它與客戶生產管理系統無縫集成,以實現頻繁、準確的測量。它還提供強大的聯網功能,確保生產工具和KLA工廠自動化解決方案之間的高效通信。總體而言,KLA/TENCOR P 10是半導體行業先進、高度可靠、直觀的晶圓測試和計量資產。P10具有廣泛的功能集和集成的自動化功能,可確保跨流程層進行高效、準確的測量,並提高產量和流程可重復性。
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