二手 KLA / TENCOR P10 #9211916 待售

KLA/TENCOR P 10是一種最先進的晶圓測試和計量設備。KLA P-10系統是一種全自動高速裝置，設計用於檢查和測量晶圓的所有表面和缺陷特性。TENCOR P 10機器的主要應用是晶片制造，用於分析和檢驗晶片制造過程中的工藝變化。KLA/TENCOR P-10工具可以檢測晶片表面的多種缺陷，包括整模缺陷、細顆粒、表面劃痕和晶界。此外,KLA/TENCOR P 10還配備了雙軸微鏡陣列,可在晶圓表面上進行高精度和高精度的臨界測量。KLA P 10資產采用最新耦合電極壓力傳感器技術構建。耦合電極壓力傳感器技術提供超低力剖面能力，使KLA P 10模型能夠以小於5nm的精度測量晶片表面的地形。設備還配備了集成檢測系統，使用200 nm/pixel分辨率檢測晶圓表面上的缺陷並進行分類。該檢測單元利用統計過程控制（SPC）等後處理技術進一步分類和隔離缺陷進行分析。TENCOR P-10機器還能夠在晶圓表面上執行許多無損檢測（NDT）操作。這些無損試驗包括薄膜厚度、片狀電阻率、濕蝕刻、離子束混合、氣相反應、橢圓偏振法等表面性質試驗。此外,該工具還可用於執行應力/應變測量,如表面去嵌入和實時熱成像。P10資產還可以配備多項可選功能,包括自動缺陷審查系統、過程徘徊、模具可重復性和自動缺陷分類。該模型還與一系列機器人裝卸系統以及機器人視覺系統兼容。P 10設備還能夠與其他工廠自動化系統集成。TENCOR P 10晶片測試和計量系統是一個高效、通用的單元，非常適合晶片制造。該機先進的耦合電極壓力傳感器技術和無損檢測能力使其成為工藝開發和生產監控的理想選擇。集成檢測工具和自動缺陷審查系統使P-10資產成為任何半導體制造設施所必需的。