二手 KLA / TENCOR P10 #9215072 待售

KLA/TENCOR P 10晶圓測試和計量設備旨在在整個制造過程中提供最高水平的精度、準確性和可重復性。該系統設計用於自動環境中的晶圓檢測和計量。KLA P-10是一個完全自動化的單元,能夠測試給定過程中的每個晶片。它包括高性能的光學機器、精密軟件套件，以及能夠快速準確地測量全晶片特性和缺陷的全自動操作工具。該資產在測量晶圓級均勻性、厚度和線寬方面提供了最高的分辨率和可重復性以及最低的可變性。高性能光學模型的設計是通過提供更高的信噪比、更高的速度和精度水平以及提高圖像完整性來最大限度地提高設備的效率。該光學器件針對各種晶片和平面布局進行了優化，包括高長寬比晶片，其線條細至10 nm。精密軟件套件為工程、計量和工藝開發提供了靈活且復雜的晶圓測試工具。它包括基於CAD的晶圓規範，各種圖像質量評估算法，以及計量和過程結果的相關性。軟件套件還可以創建同一區域的第二個圖像映射,以便與其他特征描述和過程步驟關聯。TENCOR P 10由全自動操作系統控制，該系統提供快速、準確、可重復的晶片在舞臺上的放置。它包括可靠的運動控制、閉環樣本傳輸單元和獨立的樣本處理功能。該機器的設計可適應各種應用和環境,從臺式到全面制造。總體而言,P 10晶片測試和計量工具旨在在晶片測試和計量環境中提供盡可能高的精度、可重復性和精度。先進的光學資產、復雜的軟件套件和自動化功能相結合,創建了一個能夠快速準確地測量各種晶圓參數和缺陷的模型。