二手 KLA / TENCOR P10 #9233591 待售

KLA/TENCOR P 10是一種晶圓測試和計量設備，設計用於高通量晶圓測量和缺陷檢測。借助三維成像技術，KLA P-10可以提供薄膜結構的精確表面和深度分析，包括高度、電阻率、組成、微缺陷等方面的測量。該系統利用專利的基於形狀的缺陷檢測算法來檢測微小的不規則性，即使在具有挑戰性的模式處理過程中也是如此。TENCOR P 10的設計緊湊,占用空間最小,能夠容納直徑可達300 mm的晶圓。它能夠每小時測量300個晶圓，是制造高通量晶圓的理想單位。KLA P 10還附帶了多種高級分析功能，包括三維數據顯示、3D叠加分析和叠加誤差圖。這些數據可用於快速凝膠高放大結果，如線寬，表征和監測光刻過程。P 10還提供了許多旨在提高計量結果準確性的功能。該機器利用自動聚焦調整來確保數據收集點保持一致和準確。此外,OptiChart軟件允許對缺陷進行模式分割和自動映射,並在需要時提供手動重新檢查。TENCOR P-10還擁有一個無損臨界維度計量工具，可以精確測量電阻率、組成等。該資產還具有漂移補償軟件，以抵消熱效應和拓撲的影響。KLA/TENCOR P-10是一個通用的模型,提供了許多基準測試和分析功能。其非凡的低擁有成本和廣泛的能力使其成為半導體制造和材料分析的理想選擇。P10是當今晶圓制造環境中精密計量和缺陷檢測的理想選擇。