二手 KLA / TENCOR P10 #9248606 待售

KLA/TENCOR P 10是一種先進的自動化晶片測試和計量設備，用於識別和表征前沿技術節點中的半導體晶片。該系統通過光學掃描每個晶片的高分辨率圖像來檢測與過程相關的缺陷。此外,KLA P-10單元還提供高級數據分析功能,以構建檢測模型,甚至可以檢測到最小的缺陷。TENCOR P 10機的主要部件是框圖處理器（BDP）、激光成像子系統（LIS）、光學子系統、計量子系統。BDP是一個專門的組件，控制TENCOR P 10工具的各個組件，並處理LIS和光學子系統的結果。它還負責TENCOR P-10資產的整體運作和管理模型生成的數據。P 10設備的激光成像子系統（LIS）由脈沖激光、掃描級和遠心透鏡組成。這個子系統提供晶片的自動化、高分辨率成像，甚至可以檢測到最小的缺陷。LIS中使用的激光通常是515納米的波長，對廣泛的缺陷特性敏感，包括那些與過程相關的缺陷。KLA P 10系統的光學子系統負責解釋和分析從LIS獲得的數據。此子系統包含兩個主要組件：缺陷監視器和彩色監視器。缺陷監視器用於識別晶片上與過程相關的缺陷。彩色監視器用於測量不同晶片之間的顏色變化。計量子系統是一種數據分析工具，它獲取LIS生成的數據，並應用數學算法提取有關晶圓缺陷特性的信息。此子系統可用於開發識別甚至是最輕微的與過程相關的缺陷的模型。P10單元是識別過程相關缺陷的極其強大的工具。它結合了高分辨率成像、復雜算法和強大的數據分析功能,為高級技術節點中的質量控制提供了全面的解決方案。這臺機器可以用來確保高產和穩健的產品性能，這在競爭激烈的半導體制造業中是必不可少的。