二手 KLA / TENCOR P10 #9261861 待售

KLA / TENCOR P10
ID: 9261861
晶圓大小: 8"
Surface profiler, 8".
KLA/TENCOR P 10是一種晶圓測試和計量設備,設計用於快速檢查和測量半導體晶圓的性能。該系統采用了最新的先進檢驗和計量技術,以提供高吞吐量和可重復、準確的測量。KLA P-10單元的核心是一個高分辨率的圖像傳感器,能夠捕獲分辨率高達500 nm的圖像。將傳感器與先進的信號處理算法相結合,TENCOR P 10能夠快速、精確地檢測晶圓表面的缺陷。除了發現表面缺陷外,P-10還可以測量各種設備和工藝參數,精度極高。P10還包括擴展機器功能的一系列測量模塊。這些包括激光反射儀、3D光學計量和掃描電子顯微鏡。這些模塊允許KLA/TENCOR P 10以高精度測量線寬、特征尺寸、深度輪廓和接觸角等半導體特征。TENCOR P-10還附帶了許多簡化操作的工具。其中包括作業管理器、缺陷檢查查看工具和配方編輯器,允許用戶快速輕松地創建、修改和執行作業。此外,KLA P 10與KLA Suite軟件集成,為趨勢分析和收益優化提供了強大的分析工具。TENCOR P 10設計用於高容量、高產、低成本的操作,適用於生產試驗和工藝評價。KLA/TENCOR P-10將高級檢驗和計量功能與易用性相結合,是高效晶圓測試和過程控制的理想解決方案。
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