二手 KLA / TENCOR P10 #9301230 待售

KLA/TENCOR P 10是KLA公司開發的晶圓測試和計量設備。設計用於半導體制造中先進的晶圓檢測和計量應用。KLA P-10系統利用TENCOR獲得專利的掃描近場光學顯微鏡（SNOM）技術,該技術可對2微米以下的結構進行精確的度量和缺陷分類。該裝置能夠檢測直徑達300 mm的晶片，能夠精確檢測小到10nm的缺陷。機器的主要部件是它的高速掃描電子顯微鏡（SEM）頭，用於捕捉晶圓表面的高分辨率3維圖像。SEM頭連接到TENCOR P 10的光學單元，為顯微鏡提供光線。光學裝置具有先進的照明器和探測器，可以進行亞表面成像。工具中使用的強大成像算法有助於識別汙染、蝕刻和損壞等小缺陷。此外,資產還能夠識別模式和操作模式,如顛簸、溝槽和其他計量特征。模型中使用的軟件支持廣泛的分析和測量工具,使其能夠提供有關晶圓條件的詳細信息。這包括缺陷大小分析、叠加和尺寸測量、拓撲分析、計量特征分析和CD/OCD測量。此外，半自動化設備還制定了晶圓分析和測試計劃，便於操作。TENCOR P 10設備中包含的用戶友好型軟件允許方便設置和操作。使用該軟件,用戶可以創建晶圓檢查和計量的自定義配方,並根據特定客戶需求配置系統。此外,該軟件還提供了一整套用於數據管理、錯誤檢測和分析的工具。總之，P 10晶片測試和計量單元是一個強大的解決方案，它為晶片檢測和計量提供了高精度、高速度和靈活性。它利用機器強大的成像算法、照明器和探測器來提供對半導體制造過程至關重要的有價值的度量和數據。