二手 KLA / TENCOR P10 #9301895 待售

KLA/TENCOR P 10是一種自動化晶片測試和計量設備，設計用於對半導體晶片的電氣、機械和光學性能進行精確的定量測量。該系統利用Deep UV、Ion Beammetrology、X射線和掃描電子顯微鏡等多種技術，提供準確可靠的晶圓測試結果。KLA P-10配備了先進的成像單元，使其能夠準確、快速地執行無損文件圖像。TENCOR P 10的核心是其先進的成像機器，它可以捕獲各晶圓表面的高度詳細的圖像。它利用三種技術來實現這一點：深紫外線、離子束和X射線。它為這些技術中的每一種都使用了專門的鏡頭，以提高圖像的分辨率並提高其準確性。成像工具還配備了高分辨率相機，可進行詳細測量。P-10還具有自動晶圓測試過程。這是利用掃描電子顯微鏡（SEM）技術完成的。在SEM中，電子束用於掃描晶圓的表面並生成其表面特征的圖像。此圖像隨後可用於分析晶片的材料特性，如其電阻、電荷泄漏特性、表面粗糙度或射線圖厚度。KLA P 10還能夠執行一系列計量測量。其中包括臨界層厚度測量、摻雜深度測量和輪廓測量。這使資產能夠為各種應用程序（如產量和可靠性分析、缺陷檢測和分析以及過程控制）提供詳細的指標。除了成像能力外，KLA/TENCOR P-10還包括先進的軟件功能，使晶片能夠在生產過程中進行監測，從而實現統計過程控制，並為改進制造過程提供反饋。總體而言，P10是一種自動化晶片測試和計量模型，具有高度先進的成像設備和自動化晶片測試過程。它的能力使它能夠對半導體晶片進行廣泛的高度準確和可靠的測試和測量，使它能夠為各種應用提供有價值的數據。