二手 KLA / TENCOR P10 #9379237 待售

KLA/TENCOR P 10是一種晶圓測試和計量設備，為半導體制造提供高吞吐量、可配置的體系結構和先進的應用。它提供了一套全面的應用，包括缺陷審查、光學CD測量、覆蓋對準和掩模平面度測量。利用先進的掃描和計量技術，KLA P-10提供了快速和精確的晶圓測量。它擁有一個專用的掃描系統，能夠以高達1000納米每秒的加速速度進行掃描，振幅分辨率為5納米。TENCOR P 10通過可為單個客戶需求和流程評估標準量身定制的軟件提供最大的靈活性。該單元的成像功能允許進行詳細的缺陷表征、模式測量和分析,以及通過晶片測量溫度。它還具有廣闊的視野和高分辨率的3D斷層成像，允許對缺陷進行詳細的表征。除了掃描和計量系統外,P 10機器還具有預編程應用程序庫,能夠監控和識別各種過程變化,如粒子沈積、電阻率變化、氣體積累和特征變化。先進、用戶友好的應用程序和強大的結果分析可提高客戶的產量和可靠性。KLA P 10的一個主要特點是其內置的環境控制工具，定期監測資產的環境。這有助於防止異常值和由於溫度和濕度的波動而產生的錯誤讀數。KLA/TENCOR P 10還包括一個全面的軟件和算法的質量保證。它提供了多種工具，如統計分析方法、缺陷識別方法、用於識別過程變化的軟件以及用於提高測量精度的軟件。P-10模型適用於研發和批量生產。它由KLA專有的WSA軟件（Wafer Section Analyzer）提供支持，該軟件旨在實現快速、準確和可重復的晶圓測量。該設備具有廣泛的功能,為客戶提供了最大的可靠性和質量控制。