二手 KLA / TENCOR P10 #9410631 待售

KLA/TENCOR P10晶圓測試計量設備是一種高性能晶圓檢驗計量工具，旨在減少制造缺陷和產量損失。該系統利用自動光學檢查和計量技術來識別、分類和測量半導體晶片的尺寸特征。該單元由先進的雙面檢測和測量工具組成，能夠快速掃描和分析基板上的微腔、TSV和粘合墊等特征。KLA P-10機采用了廣泛的成像系統和技術,包括散射測量、亮場和暗場成像,以便快速準確地識別和定位產品缺陷,如缺少的斑點、線缺陷和針孔,然後才能到達最終產品。所有圖像都存儲在S3-based圖像存檔工具中,以便於檢索和查看。TENCOR P 10還包括一種具有檢測形狀、文本周長和缺陷能力的自動分類算法。此算法允許用戶根據大小、形狀和位置快速對特征進行分類。例如,它可以識別線寬、接觸空隙和針孔。該資產還可以與其他KLA系統集成,以加快識別和報告產品缺陷。TENCOR P 10模型還配備了多種計量能力，包括薄膜厚度測量和可重復性、線寬檢測、幾何測量等。采用自動多角度橢圓偏振儀和分析儀進行薄膜厚度測量。利用這種設備，可以快速獲得高精度的薄膜材料的精密測量。使用激光掃描幹涉儀自動系統獲取線寬和臨界尺寸測量。此單元能夠測量各種晶圓曲面上的線寬和其他尺寸屬性。在幾何測量方面，TENCOR P-10機器配備了激光工具，能夠測量晶圓的邊緣和輪廓。KLA P 10晶圓測試和計量資產還配備了全面的數據管理模型，允許用戶快速訪問和分析數據。該設備還兼容不同的制造工具，以及其他測試設備，使其能夠根據不同客戶的需求量身定制。總體而言，KLA/TENCOR P-10系統是一個強大可靠的工具，可以幫助減少半導體制造過程中的缺陷並提高產量。該單元提供了一系列特性和功能,使用戶能夠快速準確地檢測、分類和測量半導體晶片上的缺陷,從而提高效率。