二手 KLA / TENCOR P11 #130279 待售

KLA/TENCOR P 11是一種晶圓測試和計量設備，旨在識別和表征半導體晶圓中的缺陷。該系統旨在全面了解被測晶片的狀況，深入了解缺陷的可能原因和潛在的糾正措施。該單元利用了許多硬件組件，包括光學晶片檢測系統、晶片應力測量系統、測試和缺陷分析系統以及缺陷計數系統。這些元件協同工作，識別和測量晶圓上的缺陷，包括粒子異常、表面粗糙度異常、電場異常、機械應力異常和化學殘留。KLA P-11機器包括許多允許快速分析缺陷數據的專有軟件工具。這些工具包括缺陷分類、度量解釋、異常檢測和機器視覺算法。可以分析這些數據以檢測缺陷的根本原因,從而使用戶能夠對其流程進行更改以避免將來出現這些缺陷。隨著自動化缺陷分析，TENCOR P 11工具提供計量服務，允許分析晶圓電氣和幾何特性。這可用於檢測工藝非均勻性,然後由工藝工程師對其進行校正。TENCOR P 11資產還提供全面的流程跟蹤功能。這使用戶能夠隨時間監測其流程,確保一致性並預測可能改進的領域。這些工具還提供隨著時間推移和跨晶圓的數據關聯，使用戶能夠了解整個流程流程。綜上所述，TENCOR P-11是一種先進的晶圓測試和計量模型，旨在提供對半導體晶圓狀態的全面了解。它利用功能強大的專有軟件工具來檢測和解釋缺陷、測量電氣和幾何特性以及跟蹤過程性能。這允許用戶最大限度地提高流程性能和產量。