二手 KLA / TENCOR P11 #293661312 待售
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KLA/TENCOR P 11是一種晶圓測試和計量設備,旨在提高晶圓級半導體制造的測試經驗。該儀器結合了其前身P10的前沿技術和其較大P15系統的先進能力。它允許單個單元容納6「至12」範圍的晶片,同時保持優越的FTIR(傅立葉變換紅外)分析和高保真信號捕獲。其高精度、吞吐量和可用性使其成為晶圓級測試和計量應用的強大工具。KLA P-11實施其突破性的光電二極管陣列(PDA)技術,在一次全晶片測量中捕獲和消化多達四十四個光電二極管位點的數據。該陣列中的每個光電二極管都被單獨配置為獲取具有最大保真度和準確性的信號。此結果是一種全面的測量方法,在多個位置之間具有相對和絕對數據相關性,可提供更高的準確性和更少的測試叠代。TENCOR P 11的FTIR能力加上其PDA技術甚至可以檢測到測試結構和性能參數中最微妙的變化。這使得它能夠獲得在手動和自動測試/計量方案中進行復雜信號和噪聲分析的高度精確的數據。工藝控制系統也可與KLA/TENCOR P 11配合使用,以提供對晶圓測試序列和定時的更大控制。這確保了通過儀器控制語言(ICL)程序集可以靈活、高精度地執行晶圓測試操作。為了提高KLA/TENCOR P-11的性能和精度,並隨著時間的推移保持精度,使用專有的光學技術來補償硬件的可變性。自主監測和控制還允許對光學參數進行動態調整,以便對一些不同的測試保持高度準確的響應。P11的增強處理和高級光學為用戶提供了先進的數據捕獲、精確的波形測量、實時信號分析以及一系列其他功能。總體而言,該機器為測試和計量應用提供了卓越的數據精度、快速的測量時間和操作效率,使其成為要求最苛刻的半導體制造操作的理想選擇。
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