二手 KLA / TENCOR P11 #293662985 待售

KLA/TENCOR P 11是一種晶圓測試和計量設備，設計用於高容量產量分析和晶圓廠工藝監測。該系統利用先進的成像分析技術來檢查晶片，目的是確保最小缺陷水平。它配備了針對成像、表征和缺陷審查而優化的特定於工具的光學和計量組件。KLA P-11具有2 X光學和6 X計量系統,是各種晶圓檢測應用的強大而通用的工具。TENCOR P 11具有堅固而剛性的龍門結構，旨在支撐大的場地密度。其高度可靠的成像系統能夠在大約15秒的循環時間內提供快速、無缺陷的晶圓檢查。KLA/TENCOR P-11通過其增強的成像系統，利用先進的算法檢測傳統系統可能無法檢測到的細微缺陷。此外,TENCOR P-11還提供了高級覆蓋、陣列掩蔽和閃爍成像功能,可用於優化缺陷檢測。P-11還包括幾個先進的計量組成部分，包括一個具有超高橫向配準的專有AFM（原子力顯微鏡）單元，用於測量晶圓拓撲結構，其精確度是無與倫比的。KLA/TENCOR P 11的高性能計量機通過獲得專利的多層輪廓分析技術得到了進一步的增強，以實現高度精確的臨界尺寸（CD）測量。最後，P11包括一個自動缺陷檢驗站，利用先進的三維缺陷識別算法協助晶圓檢測數據的檢視和後處理。總體而言,TENCOR P 11是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量工具,其中包含高級成像分析技術、計量組件和自動缺陷審查功能。它非常可靠,在15秒的周期內提供準確、快速的檢查結果。P 11具有檢測細微缺陷、以無與倫比的精度測量晶圓拓撲、自動化缺陷審查的能力，是實現半導體行業生產產量高、工藝監控準確的理想工具。