二手 KLA / TENCOR P11 #293809525 待售
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KLA/TENCOR P 11是一種晶圓測試和計量設備,將測試和計量能力結合到一個單一的、集成的平臺中。該系統設計用於晶圓級篩選和逆向工程應用。KLA P-11單元使用圖像識別和模式識別技術來檢測晶圓或基板上的故障特征。它還可以測量晶圓器件的電氣和物理特性,並提供有關模具位置、缺陷和其他參數陣列的信息。TENCOR P 11使用多種測量技術,包括成像、2D測量、臨界尺寸(CD)測量、電氣測試(電學測試和重測)、臨界區域分析和高級缺陷分析。它還提供了高級3D映射和分析功能,以及高級缺陷檢測技術。KLA/TENCOR P 11光譜成像技術可用於檢測和區分不同類型的缺陷和拓撲特征。它還支持多種無損電測試技術,如CVU、IVu和OD測量。TENCOR P-11機配備了先進的模具自動定位基準對準工具,簡化了資產運行,最大限度地提高了對準精度。KLA/TENCOR P-11還能夠使用4個蓋側晶片載波每小時處理多達500個晶片。P11上的高級圖像分析允許快速識別缺陷,包括微觀缺陷、大開口部位、劃痕和其他地形缺陷。此外,該模型還包括全面的模式識別算法,將被檢查的結構與存儲在其庫中的已知模式進行比較。P-11還提供一系列統計數據分析工具,如平均值和標準差、最大值、最小值和直方圖分析。利用其實時報告和用戶定義的報告模塊,它提供了關於趨勢和統計的深入分析。最後,TENCOR P 11設備設計用於精確缺陷定位,可以在100 um x 100 um的區域內精確定位1 um的缺陷。它還提供各種自動化選項,包括機器人處理系統、多模具拾取系統、自動化測試解決方案和自動化計量解決方案。
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