二手 KLA / TENCOR P11 #9009149 待售
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ID: 9009149
Profilometer
Microhead sr Green probe tip (2um radius, 60 degrees)
3.1 Windows operating system
Tencor software version 2.0 (including 2.1, 2.2 and 2.3 upgrades).
KLA/TENCOR P11是專門為半導體應用而設計的高性能晶圓測試和計量設備。它是一個集成系統,旨在在單個單元中快速測量和分析半導體晶片。它配備了廣泛的高精度探針卡和自動對焦激光幹涉儀,以提供最高水平的性能可用。這臺機器提供高吞吐量、高精度和可靠性,以滿足最苛刻的半導體行業要求。KLA P-11工具由雙核處理器和大型內存系統提供支持。它配備了14軸定位資產,能夠快速準確地測量許多不同類型的2D圖樣。自動化的計算機控制特征識別模型提供超快信號識別,讓TENCOR P 11收集更多數據,做出更精確的測量。綜合制圖設備可用於高級地形數據采集和分析。該系統有一個集成的自動對焦激光幹涉儀,使用波長穩定的910nm準分子激光器對半導體晶片和器件進行超精確測量。P 11有一個全自動級,可以在毫秒內將探針移動到晶片表面的任意點。舞臺有一個廣泛的運動,包括一個掃描運動快速定位特征在一個大的區域。該單元具有強大的缺陷檢測引擎,能夠分析標準圖像和3D數據。這臺機器可以根據其形狀、邊緣、灰度和其他參數檢測和測量缺陷。此外,它還可以通過大小、位置、頻率和存在/不存在來分析缺陷。這為用戶提供了對缺陷特征和行為的無價洞察。KLA P 11旨在適應廣泛的計量應用,並專門設計以減少測量時間。它提供高精度和高速測量,為用戶提供最佳性能。此工具通過提供對生產過程的最佳了解,幫助制造商實現其生產目標。最後,KLA/TENCOR P-11提供了高級功能(如遠程監視和控制),以及完整的圖像歸檔,以便將來進行分析。
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