二手 KLA / TENCOR P11 #9269308 待售

KLA/TENCOR P11是一種領先的晶圓測試和計量設備，正在革新半導體測試和計量行業。KLA P-11利用高功率3D激光掃描技術獲得單個晶片的精確、高分辨率圖像。這張詳細的圖像與自動光學檢查系統相結合,使TENCOR P 11能夠快速準確地測量晶片上的各種特征,包括特征尺寸、叠加尺寸、臨界尺寸和屈服分析。KLA P 11由一個基本平臺和多個模塊組成,用於添加功能。基礎平臺包括一個垂直多軸級、一個快速掃描頭、一個高分辨率的共焦成像模塊，以及其他幾個用於精確成像和計量的組件。多軸級允許晶片的精確定位，共焦成像模塊允許對任何晶片進行詳細的3D成像。KLA/TENCOR P-11使用四個附加模塊來提供額外的測量功能。其中包括叠加測量模塊、模具臨界尺寸（CD）模塊、工藝簽名和輪廓測量模塊以及晶圓級屈服測量模塊。疊加模組允許一個晶片與另一個晶片進行比較，而模模CD模組則可以測量一個晶片上兩個不同特徵之間的距離。工藝簽名模塊測量晶片的電氣輪廓，晶片級屈服模塊測試晶片的屈服速率。P11還可用於自動化測試程序優化，並提供用於管理測試、計量和數據分析的單點數據。此軟件功能使用戶能夠跟蹤其測試操作的性能,分析和比較結果,並優化過程以獲得最佳結果。總體而言，KLA P 11是一個高級測試和計量單元，它提供了晶圓的增強的詳細視圖。其3D激光掃描技術可以快速準確地測量晶片上的各種特征，其自動光學檢測機為優化測試程序提供數據。所有這些功能使P-11成為半導體制造商必不可少的工具。