二手 KLA / TENCOR P11 #9293256 待售

KLA/TENCOR P 11晶片測試和計量設備是一種自動化系統，設計用於在大型（最多300毫米）矽晶片上對微電子器件、MEMS和光子元件進行晶片上的測量。KLA P-11利用先進的模式識別算法來識別大型晶片上的單個模式和設備結構，然後利用其高分辨率成像能力對其進行測量。TENCOR P 11通過主動隔振、自動對焦和電位計控制的自動級實現了精度和可重復性，為晶圓級測試提供了高精度的測量。KLA P 11單元由多個子系統組成，如運動控制器、數據采集機和成像工具。運動控制器提供x-y-z平移和旋轉級，以精確的精確定位晶片上的器件。數據采集資產通過數字/模擬和數字/數字（D/A和D/D）輸入/輸出單元提供高速數據采集能力。KLA/TENCOR P-11成像模型是一種專有的顯微鏡設計,具有板載LED照明和高達20倍的光學變焦放大倍率,具有0.5 𝛍m的光斑分辨率設置。水浸物鏡和樣品持有者使設備能夠精確測量樣品高度和特性不同的樣品，而專用軟件則能對復雜的裝置結構進行表征。P-11還具有用於模具識別、對齊/配準、矢量繪圖和設備分類的自動模式識別算法。用戶友好的圖形用戶界面使系統易於編程和控制。KLA/TENCOR P 11單元提高了晶圓級測試測量的準確性、分辨率和重復性。它提供了一個用於晶圓測試和計量的多合一軟件包，具有樣品持有者、照明和物鏡、隔振和自動對焦功能，允許用戶快速產生準確和可重復的結果。借助先進的模式識別算法,KLA P 11為測試、分析和表征復雜的模具結構提供了經濟高效、質量可控的解決方案。