二手 KLA / TENCOR P11 #9314006 待售

KLA/TENCOR P 11是一種晶圓測試和計量設備，為過程控制、研發提供快速準確的晶圓幾何測量。該系統實現了自動模具排序能力和廣泛的晶圓幾何測量,包括臨界尺寸（CD）測量（如線寬和線緣粗糙度）,區域測量（如圖樣平面度和掃描幹涉法）。它具有創新的高速光學模塊、獨特的鏡頭設計以及先進的照明裝置，使其能夠對最復雜的幾何特征進行精確測量。KLA P-11機高度靈活，支持多種應用。它設計為模塊化且可升級,使客戶無需與制造商聯系即可添加新功能。它旨在最大限度地測量每個晶圓,為研究和生產環境提供高吞吐量和經濟高效的解決方案。TENCOR P 11可配置為同時容納平板顯示器和直徑不超過300毫米的樣品晶片。該工具還配備了高度復雜的雙光束光學顯微鏡資產，可以收集高度、面積、線寬和臨界尺寸測量等數據。P11還提供高精度的機動高度軸和機動檢查階段，允許精確控制測量位置和可重復的結果。此外，KLA P 11采用自動零校準模型，以確保精確和可重復的測量。此外，該設備還有一個特定直徑配方的板載庫，可用於快速建立晶圓計量系統和進行測量，而無需手動校準。總體而言，TENCOR P-11是一種精確和靈活的晶圓測試和計量解決方案，能夠精確測量和經濟高效的操作，用於研究和生產應用。其精密的雙光束光學顯微鏡單元和自動校準確保了精確的測量，而其板載庫和可升級的能力使其有可能長期保持尖端。