二手 KLA / TENCOR P11 #9397724 待售

KLA/TENCOR P 11晶片測試和計量設備旨在實現晶片特性的高精度測量,如表面地形、特征大小和缺陷特性。KLA P-11配備了幾種光學和電氣探針以及亞微米分辨率的電動掃描技術，以精確分析廣泛的晶圓基板。這些測量使工程師和科學家能夠表征大批量生產環境中的單個結構,同時仍能準確測量諸如表面終點、線寬、臨界尺寸均勻性和缺陷分布等參數。該系統采用全光學設計，能夠提供廣域成像和納米級精度測量。可移動激光源照射晶片樣品，然後從表面反射出來並由光學接收器收集。然後使用成像模塊捕獲收集的數據並將其存儲起來以供以後分析。為了分析收集到的數據,TENCOR P 11采用了幾種物理和數學算法.這些算法用於計算曲面輪廓並顯示樣本的輪廓。它們還用於查看表面缺陷特征和測量特征的大小。該單元還包含一系列模式識別工具,這些工具能夠從樣本中識別和提取特征,如線寬、臨界尺寸均勻性和缺陷。除了這些功能外，KLA/TENCOR P 11還具有精密的用戶界面，具有直觀的圖形用戶界面和幾個觸摸屏菜單。支持手動和自動輸入,並且該機器能夠存儲和編目數據,以實現數據跟蹤和工作流管理。該工具還配備了若幹安全預防措施，以確保數據完整性和防止數據丟失。P11晶片測試和計量資產是為晶片基板提供準確可靠測量的強大工具，使其成為在半導體生產環境中工作的工藝工程師和科學家的重要工具。