二手 KLA / TENCOR P12 #293589209 待售

KLA/TENCOR P12是一種晶圓測試和計量設備，設計用於以高精度和精確度檢測晶圓。為了完成這項任務，它支持光學顯微鏡、掃描聲學顯微鏡（SAM）、光學叠加測量和線形測量等各種技術。該系統由Optifab、Metrology和YieldStar過程三個子系統組成。Optifab工藝有助於自動檢查晶圓的表面地形、粗糙度測量、特征分析和缺陷光刻分析，使用戶能夠識別目標缺陷和潛在缺陷來源。它利用定制的舞臺進行運動精度和穩定性，利用光學擴散器進行圖像分析，並利用成像傳感器進行高分辨率拓撲測量。該單元精確且靈敏,即使是晶圓表面上最小的缺陷陣列也能檢測到。Metrology過程負責提供高分辨率的計量服務，如線形測量、側向魯棒性測量和接觸孔成像。它具有非接觸式傳感器、高精度掃描臺和光學設備，能夠高精度地測量線寬和線形。該工具還配備用於檢查波形、角度和接觸孔的大小和對稱性，使其用途廣泛且高度精確。YieldStar過程有助於進一步處理前兩個過程中捕獲的數據。它從晶片收集數據進行產量評估，並使用斷層掃描樣式算法進行模式識別。用戶界面允許對來自先前進程的數據輸入進行可定制的統計分析。KLA P 12的設計旨在滿足半導體制造商對其晶片進行高效和精確測試的日益增長的需求。其全面的功能集使得它適合研究和生產環境，允許用戶對他們的晶圓制造過程做出更快、更精確的決策。TENCOR P-12以其三個集成的子系統和微調的精度，是任何晶圓測試和計量任務的必備工具。