二手 KLA / TENCOR P12 #293800615 待售

KLA/TENCOR P12是由過程控制解決方案的全球領先者KLA開發的晶圓測試和計量設備。該系統能夠測量各種臨界參數,包括臨界尺寸（CD）變化、覆蓋、大小平面度、缺陷檢測、薄膜厚度等。該裝置的設計是為了最大限度地提高晶片對晶片的吞吐量、質量和生產率。KLA P 12采用亞納米精度X射線激光共聚焦機結合先進的模式識別軟件，提供卓越的分析效果。其高級測試功能的核心是創新的照明設計,它使工具能夠檢測實際設備特征和薄膜層。多光譜探測器陣列能夠對CD、覆蓋層、沈積膜和其他特征進行高精度、快速和無損的測量。該資產配備6軸晶圓級和200毫米晶圓大容量，提供高速吞吐量和不間斷運動。先進的光學和照明設計提供了低至亞微米水平特征的最佳測量。TENCOR P-12提供多種光學配置,用於檢查特征大小和材料,以及檢查視場（FOV）設置和縮放功能。在軟件層面，P 12配備了強大的分析和可視化工具，以各種圖表和圖表的形式正確顯示信息。該模型還提供了全局對齊功能,該功能可補償測試模具與目標之間的錯位,從而提高精度和吞吐量。P-12還支持多種測試配置，讓客戶優化測試的樣本數量。靈活的自動化支持提供了與現有生產流程的無縫集成,並且廣泛的通信接口允許多種數據傳輸方法。綜上所述,KLA/TENCOR P 12提供了一個完整的晶圓測試和計量解決方案,它結合了卓越的計量精度、吞吐量和靈活性,以確保制造過程中的最高質量和生產率。